行业业绩增速：前道设备业绩高增，后道设备短期承压 - 收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。2023&2024Q1十五家半导体设备企业合计实现营业收入分别为550.51亿元、129.21亿元，分别同比+31.43%、+29.50% [2][7] - 前道设备维持高增，后道测试设备短期承压。微导纳米、北方华创、中微公司23&24Q1营收维持较高增速，拓荆科技、芯源微24Q1营收出现下降；长川科技、金海通、华峰测控23年营收同比出现下滑 [8] - 利润端前道设备分化明显，后道设备短期下降。北方华创、中微公司23&24Q1归母净利润增速均超65%，芯源微、拓荆科技、微导纳米24Q1净利润同比出现下滑；金海通、华峰测控23&24Q1归母净利润出现下滑 [9][10][11][12][13] - 整体基本持平，封测设备短期下滑。2023年十五家半导体设备企业销售净利率为18.71%，同比-0.13pct；2024Q1为14.14%，同比-1.82pct。微导纳米23年销售净利率同比+8.19pct，华峰测控、长川科技23年同比-10pct以上 [14][15][16] 行业未来展望：关注先进制程扩产&设备国产化率提升，继续看好半导体设备投资机会 - 存储&逻辑厂2024年仍将积极扩产。头部存储企业2023年受政策和需求影响扩产放缓，2024年有望重启资本开支；逻辑企业受AI需求带动也有望持续扩产 [39][40] - 薄膜和刻蚀在先进制程中用量不断增加。从2D到3D结构的转变使等离子体刻蚀和薄膜成为最关键的加工步骤 [41][42][43][44] - 涂胶显影和量测国产化率较低，替代空间大。涂胶显影设备日本TEL一家独大，占据全球87%市场份额；量测设备KLA在全球市场份额高达50% [48][49][50][54][55][56][57] - 封测设备有望迎来扩产顺周期，先进封装助推需求。下游景气度复苏有望传导至封测设备企业，封测设备订单有望在2024H1回暖 [61][62][63][64][65][66][67] 投资建议 1) 存储扩产：重点推荐北方华创、中微公司、芯源微、微导纳米 [81] 2) 低国产化率低的环节：重点推荐拓荆科技、微导纳米、芯源微 [81] 3) 景气度向上的封测设备：华峰测控 [81] 4) 聚焦磨划+先进封装：迈为股份 [81] 风险提示 - 半导体行业投资不及预期 [82] - 设备国产化不及预期 [83]