报告公司投资评级 - 报告给予拓荆科技"优于大市"的投资评级 [6] 报告的核心观点 薄膜沉积设备 - 拓荆科技的主力产品为PECVD设备,已实现产业化应用并实现销售,包括12英寸PECVD设备(PF-300T)和8英寸PECVD设备(PF-200T) [9][10] - 公司已实现全系列PECVD薄膜材料的覆盖,并持续获得批量订单和批量验收 [9][10] - 预计2024E-2026E完成145台、190台、225台PECVD设备的销售并确认收入 [10] - PECVD设备的平均单价预计每年同比增3%、3%和5% [10] ALD设备 - 公司ALD产品系列包括PE-ALD和Thermal-ALD,其中Thermal-ALD设备已通过客户验证并取得突破性进展 [10][11] - 预计2024E-2026E完成14台、25台、35台ALD设备的销售并确认收入,均价分别为2000万元/台 [11] SACVD设备 - SACVD设备主要应用于深宽比小于7:1的沟槽填充工艺,公司新推出了SAF薄膜工艺应用设备并出货至客户端验证 [11][12] - 预计2024E-2026E完成12台、20台、32台SACVD设备的销售并确认收入,均价分别为2400万元/台、2300万元/台、2300万元/台 [12] HDPCVD设备 - HDPCVD设备主要应用于深宽比小于5:1的沟槽填充工艺,2023年首台HDPCVD设备通过客户验证并实现产业化应用 [12] - 预计2024E-2026E完成10台、12台、20台HDPCVD设备的销售并确认收入,均价分别为3000万元/台 [12] 混合键合设备 - 拓荆科技的混合键合系列产品包括晶圆对晶圆键合产品和芯片对晶圆键合表面预处理产品,2023年首台晶圆对晶圆键合产品Dione 300顺利通过客户验证 [12][13] - 预计2024E-2026E完成8台、14台、25台混合键合设备的销售并确认收入,均价分别为2500万元/台 [13] 其他业务 - 公司的其他业务收入来源于设备有关的备品备件销售及技术服务,预计2024E-2026E的其他业务收入增速为30%、30%、30% [13] 财务预测 - 预测拓荆科技2024E-2026E收入分别为38.64亿元、53.13亿元和71.78亿元,同比增42.85%、37.49%、35.10% [13] - 预测2024E-2026E归母净利润分别为7.69亿元、10.49亿元和14.54亿元,同比增16.11%、36.39%、38.64% [13] - 采用PS估值法,给予公司PS(2024E)9x-10x的估值,对应合理市值区间为347.77亿元-386.41亿元,对应184.80元/股-205.33元/股 [13]