业绩总结 - 公司2023年Q1营收同比增长59%，达到27.05亿元[2] - 公司2024年Q1设备出货金额同比增长超过130%，订单金额超过64亿元[2] - 公司2024年Q1研发费用同比增长78.09%，利润端表现短期承压[3] - 公司营业总收入预计在2026年将达到7,370百万元，年均增长率为30.8%[8] - 净利润预计在2026年将达到1,577百万元，年均增长率为38.2%[8] - 每股收益预计在2026年将达到8.36元[8] 新产品和新技术研发 - 公司持续完善薄膜沉积设备工艺覆盖度，受益半导体设备进口替代[4]