报告公司投资评级 1) 报告给予公司"强推"评级 [8] 报告核心观点 1) 公司是国内半导体专用温控/废气处理设备龙头,在持续迭代升级现有产品的同时积极布局晶圆传片设备、零部件等新业务 [8] 2) 终端需求复苏叠加科技创新有望带动下游晶圆厂积极扩产,半导体专用设备国产替代空间广阔 [8] 3) 公司研发实力雄厚,部分产品性能可比肩海外龙头,并在国内知名客户产线上实现无差别应用 [8] 分产品总结 1) 半导体专用温控设备: - 公司产品温控范围覆盖-70℃到120℃,性能指标领先国内外同类产品 [56][57] - 受益行业发展和国产替代进程,公司温控设备收入有望持续高增 [86] 2) 半导体专用工艺废气处理设备: - 公司产品废气处理效率达99%以上,技术水平可比肩海外大厂 [64][65][66][67][68] - 受益国产替代加速,公司市占率有望进一步提升 [67][68] 3) 晶圆传片设备: - 公司产品技术已达国际先进水平,未来有望凭借技术和性能优势实现快速放量 [74][75] - 受益国产替代和自动化趋势,市场规模有望持续增长 [53][54][55]