报告公司投资评级 - 投资评级为"增持-A"，维持评级 [1] 报告的核心观点 - 24Q3营收创历史新高，新产品/新工艺机台取得突破进展 [1] - 公司新产品及新工艺机台在客户端验证取得突破性进展，PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等系列产品量产规模不断扩大 [1] - 公司多款基于新型设备平台（PF-300M和PF-300T Plus）及新型反应腔（Supra-D）开发的工艺设备实现收入确认 [1] - 24Q3公司实现营收10.11亿元，同比增长44.67%，环比增长27.14%，创历史新高 [1] - 归母净利润1.42亿元，同比减少2.91%，环比增长19.87%；扣非归母净利润0.46亿元，同比减少58.79%，环比减少29.05% [1] - 毛利率39.27%，同比减少12.40个百分点，环比减少7.62个百分点 [1] - 毛利率阶段性下降主要由于新产品及新工艺的收入占比大幅度增加，新产品及新工艺在客户验证过程成本相对较高 [1] - 公司PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜设备产品系列及混合键合设备产品系列均已在客户端实现产业化应用，量产规模逐步扩大，其设备性能和产能均达到国际领先水平 [1] - PECVD设备已实现全系列PECVD介质薄膜材料的覆盖，通用介质薄膜材料和先进介质薄膜材料均已实现产业化应用 [1] - 两款新型设备平台（PF-300T Plus和PF-300M）和两款新型反应腔（pX和Supra-D）持续获得客户订单并出货至多个客户端 [1] - ALD设备PE-ALD高温、低温SiO2、SiN等薄膜均已实现产业化应用，并持续获得客户订单、出货至客户端验证 [1] - SACVD设备在国产集成电路制造产线的应用规模进一步提升 [1] - HDPCVD反应腔累计出货量达70个，并持续扩大量产规模 [1] - 超高深宽比沟槽填充CVD首台产品通过客户验证，实现产业化应用，并获得客户重复订单及不同客户订单 [3] - 混合键合产品Dione 300及芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品Propus均实现产业化，性能表现优异 [3] - 键合套准精度量测产品Crux 300也已获得客户订单 [3] - 预计2024年至2026年，公司营收分别为38.70/52.50/66.15亿元，增速分别为43.1%/35.6%/26.0%；归母净利润分别为5.70/9.30/12.87亿元，增速分别为-13.9%/63.0%/38.4%；PE分别为81.9/50.3/36.3 [4] 根据相关目录分别进行总结 投资要点 - 24Q3营收创历史新高，新产品/新工艺机台取得突破进展 [1] - 公司新产品及新工艺机台在客户端验证取得突破性进展，PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等系列产品量产规模不断扩大 [1] - 公司多款基于新型设备平台（PF-300M和PF-300T Plus）及新型反应腔（Supra-D）开发的工艺设备实现收入确认 [1] - 24Q3公司实现营收10.11亿元，同比增长44.67%，环比增长27.14%，创历史新高 [1] - 归母净利润1.42亿元，同比减少2.91%，环比增长19.87%；扣非归母净利润0.46亿元，同比减少58.79%，环比减少29.05% [1] - 毛利率39.27%，同比减少12.40个百分点，环比减少7.62个百分点 [1] - 毛利率阶段性下降主要由于新产品及新工艺的收入占比大幅度增加，新产品及新工艺在客户验证过程成本相对较高 [1] 财务数据与估值 - 预计2024年至2026年，公司营收分别为38.70/52.50/66.15亿元，增速分别为43.1%/35.6%/26.0%；归母净利润分别为5.70/9.30/12.87亿元，增速分别为-13.9%/63.0%/38.4%；PE分别为81.9/50.3/36.3 [4] - 2022年至2026年，公司营业收入分别为1,706/2,705/3,870/5,250/6,615百万元，YoY分别为125.0%/58.6%/43.1%/35.6%/26.0%；归母净利润分别为369/663/570/930/1,287百万元，YoY分别为438.1%/79.8%/-13.9%/63.0%/38.4%；毛利率分别为49.3%/51.0%/43.5%/44.8%/45.3%；EPS分别为1.32/2.38/2.05/3.34/4.62元；ROE分别为9.8%/14.5%/11.1%/15.3%/17.6%；P/E分别为126.8/70.5/81.9/50.3/36.3；P/B分别为12.6/10.2/9.0/7.7/6.4；净利率分别为21.6%/24.5%/14.7%/17.7%/19.5% [5] 财务报表预测和估值数据汇总 - 2022年至2026年，公司流动资产分别为6820/8457/11969/13031/15006百万元；现金分别为3827/2676/4153/3376/3271百万元；应收票据及应收账款分别为283/530/680/759/916百万元；预付账款分别为96/192/131/153/204百万元；存货分别为2297/4556/6378/8112/9979百万元；其他流动资产分别为318/503/628/631/635百万元；非流动资产分别为493/1512/2074/2186/2150百万元；长期投资分别为0/228/223/223/223百万元；固定资产分别为382/613/764/865/899百万元；无形资产分别为44/92/163/173/183百万元；其他非流动资产分别为67/580/923/924/845百万元；资产总计分别为7313/9969/14043/15217/17156百万元；流动负债分别为2947/2982/5326/6321/7727百万元；短期借款分别为400/70/152/262/350百万元；应付票据及应付账款分别为871/1070/1663/2201/2968百万元；其他流动负债分别为1675/1841/3511/3858/4409百万元；非流动负债分别为659/2396/3464/2730/1996百万元；长期借款分别为270/1871/2937/2202/1468百万元；其他非流动负债分别为389/525/527/527/527百万元；负债合计分别为3605/5378/8790/9050/9723百万元；少数股东权益分别为-4/-2/-1/1/3百万元；股本分别为126/188/278/278/278百万元；资本公积分别为464/1093/1652/2557/3802百万元；留存收益分别为3122/3313/3313/3313/3313百万元；归属母公司股东权益分别为3712/4594/5254/6166/7430百万元；负债和股东权益分别为7313/9969/14043/15217/17156百万元 [6] - 2022年至2026年，公司营业收入分别为1706/2705/3870/5250/6615百万元；营业成本分别为865/1325/2187/2898/3618百万元；营业税金及附加分别为17/18/10/13/15百万元；营业费用分别为192/281/348/420/463百万元；管理费用分别为81/189/170/220/265百万元；研发费用分别为379/576/774/1003/1191百万元；财务费用分别为-18/-12/46/47/46百万元；资产减值损失分别为-26/-25/-29/-14/0百万元；公允价值变动收益分别为16/94/100/61/20百万元；投资净收益分别为14/3/-3/0/0百万元；营业利润分别为357/729/577/941/1302百万元；营业外收入分别为8/0/0/0/0百万元；营业外支出分别为0/0/0/0/0百万元；利润总额分别为364/729/577/941/1302百万元；所得税分别为0/65/6/9/13百万元；税后利润分别为364/664/572/931/1289百万元；少数股东损益分别为-4/1/1/2/3百万元；归属母公司净利润分别为369/663/570/930/1287百万元；EBITDA分别为319/827/616/992/1358百万元 [6] - 2022年至2026年，公司经营活动现金流分别为248/-1657/214/31/629百万元；净利润分别为364/664/572/931/1289百万元；折旧摊销分别为28/50/55/67/76百万元；财务费用分别为-18/-12/46/47/46百万元；投资损失分别为-14/-3/3/0/0百万元；营运资金变动分别为-163/-2528/-353/-954/-762百万元；其他经营现金流分别为50/171/-108/-61/-20百万元；投资活动现金流分别为-151/-836/-594/-119/-20百万元；筹资活动现金流分别为2790/1339/1858/-690/-714百万元 [6] - 2022年至2026年，公司每股收益分别为1.32/2.38/2.05/3.34/4.62元；每股经营现金流分别为0.89/-5.95/0.77/0.11/2.26元；每股净资产分别为13.34/16.51/18.56/21.83/26.37元 [6] - 2022年至2026年，公司成长能力分别为125.0%/58.6%/43.1%/35.6%/26.0%；营业利润分别为533.4%/104.5%/-20.8%/63.0%/38.4%；归属于母公司净利润分别为438.1%/79.8%/-13.9%/63.0%/38.4%；获利能力分别为49.3%/51.0%/43.5%/44.8%/45.3%；净利率分别为21.6%/24.5%/14.7%/17.7%/19.5%；ROE分别为9.8%/14.5%/11.1%/15.3%/17.6%；ROIC分别为6.2%/10.1%/5.9%/9.5%/12.3%；偿债能力分别为49.3%/53.9%/62.6%/59.5%/56.7%；流动比率分别为2.3%/2.8%/2.2%/2.1%/1.9%；速动比率分别为1.4%/1.1%/0.9%/0.7%/0.6%；营运能力分别为0.3%/0.3%/0.3%/0.4%/0.4%；应收账款周转率分别为8.8%/6.7%/6.4%/7.3%/7.9%；应付账款周转率分别为1.4%/1.4%/1.6%/1.5%/1.4%；估值比率分别为126.8%/70.5%/81.9%/50.3%/36.3%；P/B分别为12.6%/10.2%/9.0%/7.7%/6.4%；EV/EBITDA分别为137.2%/56.2%/75.8%/47.2%/34.1% [6]