报告公司投资评级 公司维持"推荐"评级 [2] 报告的核心观点 1) 公司作为国内半导体设备领先企业，长期受益于国产替代 [2] 2) 公司在集成电路核心装备领域成功研发出多款具有自主知识产权的高端设备，并在多家客户端实现稳定量产 [6][7] 3) 公司业绩持续高增长，2024年前三季度实现营收203.53亿元（39.51%YoY），归属上市公司股东净利润44.63亿元（54.72%YoY） [4] 4) 公司费用率整体较为稳定，销售费用率、管理费用率、研发费用率和财务费用率分别为3.88%、6.60%、10.77%和0.33% [4] 5) 公司作为平台型半导体设备公司，不断拓展创新边界，丰富产品矩阵，进一步拓宽工艺覆盖范围 [4][6] 6) 公司在技术支持、现场服务、备品备件供应等方面与客户形成了良好的合作关系，打造了"强支撑、优服务、高质量"的客户服务核心竞争力 [4] 分产品线总结 1) 刻蚀装备方面，面向12寸逻辑、存储、功率、先进封装等客户，已完成数百道工艺的量产验证 [6] 2) 薄膜装备方面，二十余款产品成为国内主流芯片厂的优选机台 [6] 3) 立式炉装备方面，中温氧化/退火炉、高温氧化/退火炉、低温合金炉、低压化学气相沉积炉、批式原子层沉积炉均已成为国内主流客户的量产设备 [6] 4) 清洗装备方面，单片清洗机覆盖Al/Cu制程全部工艺，是国内主流厂商后道制程的优选机台 [6] 5) 卧式炉管设备方面，为光伏客户提供20余款工艺设备，适用于PERC、TOPCon、HJT等多种技术路线工艺应用 [6]