至纯科技:公司深度报告:深耕高纯工艺系统,蓄力开拓湿法设备业务

公司概况 - 至纯科技是国内高纯工艺系统龙头企业,产品业务主要集中在高纯工艺系统、核心工艺设备以及工艺材料和专项服务 [1][2] - 公司成立于2000年,初期主要从事高纯工艺系统的工程分包业务,后逐步发展成为高纯工艺系统整体解决方案供应商 [16][17][18] - 2015年开始布局半导体湿法设备业务,并于2018年成立全资子公司至微科技专注于湿法设备的研发和生产 [19][20] - 近年来公司业务范围进一步拓宽,包括大宗气站、部件清洗及晶圆再生等新兴业务 [21][22] 高纯工艺系统业务 - 高纯工艺系统是影响芯片良率和性能的关键设备,应用于集成电路、光伏、生物医药等行业 [38][39] - 公司在高纯工艺系统领域具有从研发、设计、制造到完整供应链的较强竞争优势,工艺水平达到ppb级 [46][47] - 公司高纯工艺系统业务收入占比较高,毛利率稳定在35%左右,在本土供应商中表现优异 [47][48] - 公司积极引导构建高纯工艺系统国产供应链,实现从系统到元器件的全面国产替代 [49] 湿法设备业务 - 湿法清洗是芯片制造中占比最大的工序,对芯片良率和性能影响重大 [49][50] - 目前国际清洗设备市场仍由日韩美厂商垄断,行业集中度较高 [53][54] - 公司在28nm及以下制程的湿法设备研发和生产上取得突破,打破了海外垄断局面 [59][60][61] - 公司湿法设备已进入国内主要半导体制造企业的供应链体系,客户覆盖广泛 [62][63] 新兴业务布局 - 公司在半导体设备核心零部件领域加大投入,建立了海宁模组及精密制造基地 [67] - 公司建成国内首座完全国产化的12英寸先进制程大宗气体供应工厂,打破了国际供应商垄断 [73] - 公司在合肥布局了晶圆再生和部件清洗服务,满足下游客户在生产运营周期中的需求 [76][77] 财务表现 - 公司营收和净利润增速有所放缓,受到下游需求不振和财务成本上升的影响 [30][31][32] - 公司毛利率维持在35%左右,系统集成业务毛利率较高,设备业务毛利率有待提升 [33][34] - 公司持续加大研发投入,研发费用率维持在6%左右,为未来发展奠定基础 [35][36] 投资评级和风险 - 首次覆盖,给予"买入"评级。预计公司2024-2026年营收和净利润将保持较快增长 [86] - 主要风险包括:客户验证进度不及预期、下游需求不及预期、地缘政治风险 [87]