报告公司投资评级 - 报告给予"买入"投资评级 [5] 报告的核心观点 - 公司上半年营收稳健增长,全年在手订单充足 [2] - 公司持续深耕薄膜设备产品及工艺的研发与产业化,不断拓展PECVD产品矩阵,客户验证持续推进 [3][4] - 公司积极进军高端半导体设备的前沿技术领域,研制应用于晶圆级三维集成工艺的键合设备产品,相关产品实现产业化并获得客户重复订单 [4] - 预计公司2024-2026年收入和利润将持续增长 [5] 分组1 - 公司上半年营收同比增长26.22%,归母净利润同比增长3.64%,低于营收增速的主要原因为持续高强度研发投入和销售费用增加 [2] - 公司自主研发并推出了PECVD Bianca工艺设备,上半年首台设备通过客户验证实现产业化应用 [3] - 公司新型设备平台和反应腔持续获得客户订单并出货 [3] - 公司用于新型功率器件领域SiC器件制造的PECVD设备已实现产业化应用,逐渐扩大量产规模 [3] 分组2 - 公司晶圆对晶圆键合产品Dione 300及芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品Propus均实现产业化,获得客户量产重复订单 [4] - 公司自主研发的键合套准精度量测产品Crux 300已获得客户订单 [4] - 预测公司2024-2026年收入分别为39.73、53.07、67.30亿元,EPS分别为2.81、3.84、5.06元 [5]