报告公司投资评级 报告给予微导纳米"增持"评级。[7] 报告的核心观点 公司发布先进封装低温薄膜沉积系统 公司在"第十六届集成电路封测产业链创新发展论坛(CIPA 2024)"上首次发布了自主研发的"先进封装低温薄膜应用解决方案"。该方案针对半导体领域2.5D和3D先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计,能够在50~200°C的低温温度区间内实现高均匀性、高质量、高可靠性的薄膜沉积效果。[3] 公司产品线覆盖泛半导体薄膜沉积各品类 公司现有的ITomic系列ALD系统、MW批量式沉积系统、ITronix CVD系统等产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示(硅基OLED)中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖,公司目前产品已经覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、TiN、TiAl、TaN、AlN、SiN、SiON、SiCN、无定形碳、SiGe等多种薄膜材料。[5] 看好公司在ALD和PECVD领域的差异化竞争优势 在ALD领域,微导纳米的工艺覆盖率约为70%至80%,在国内ALD设备市场占据龙头地位;在PECVD领域,公司专注于高温硬掩模工艺(AHM),占比达到20%。[6] 财务预测与估值 根据报告,预计微导纳米2024-2026年归母净利润分别为6.3/8.3/9.2亿元,当前股价对应动态PE分别为17/13/12倍。[7]