报告公司投资评级 - 维持"买入"评级 [7] 报告的核心观点 公司业绩高速增长 - 2024年上半年预计实现归母净利润25.7-29.6亿元,同比增长42.84%-64.51% [4] - 全年来看,随着公司营收规模扩大,规模效应逐渐显现,公司归母净利润有望同比持续增长 [4] 公司是半导体设备平台化龙头 - 公司在刻蚀设备、薄膜沉积设备等高价值环节布局深入,成为国内主流芯片厂优选机台 [5][6] - 在欧美先进设备禁令加码背景下,看好公司作为国内半导体设备高价值环节龙头占据更高份额 [6] 分部门总结 刻蚀设备 - 面向12寸逻辑、存储、功率、先进封装等客户,实现硅、金属、介质刻蚀工艺全覆盖 [5] 薄膜沉积设备 - 突破PVD、CVD和ALD等多项核心技术,铜互联薄膜沉积、铝薄膜沉积等二十余款产品成为国内主流芯片厂的优选机台 [5] 立式炉装备 - 中温氧化/退火炉、高温氧化/退火炉低温合金炉、低压化学气相沉积炉、批式原子层沉积炉均已成为国内主流客户的量产设备,并持续获得重复订单 [5] 外延设备 - 覆盖SiC外延炉、硅基GaN外延炉、6/8寸多片硅外延炉等20余款量产设备 [5] 清洗装备 - 单片清洗机覆盖Al/Cu制程全部工艺,是国内主流厂商后道制程的优选机台 - 槽式清洗机在多家客户端实现量产,屡获重复订单 [5]