拓荆科技:国产薄膜设备龙头,高端产品加速突破

报告公司投资评级 拓荆科技首次覆盖,给予"买入"评级。[6] 报告的核心观点 薄膜沉积设备翘楚,工艺覆盖面广 - 拓荆科技为国内薄膜沉积设备龙头,自2010年成立以来专注于半导体薄膜沉积设备,产品线不断延伸,已获得中芯国际、华虹集团等主流客户的认可。[11][12][13] - 公司推出的PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD等薄膜设备可以支撑逻辑芯片、存储芯片中所需的全部介质薄膜材料和约100多种工艺应用。[55][56] 薄膜沉积国产空间广阔,公司成长弹性显著 - 2023年中国薄膜沉积设备市场规模预计达到89亿美元,但国产化率依然较低,拥有广阔的替代空间。[42][53] - 海外限制收紧,高端薄膜沉积设备的国产化日益迫切。[54] - 本土大型晶圆厂积极扩产,为国产设备厂商订单增长奠定坚实基础。[60][61] 布局混合键合,打开业绩成长空间 - 公司混合键合系列产品包括晶圆对晶圆键合和芯片对晶圆键合表面预处理,已实现产业化应用。[92][93] - 混合键合设备市场处于早期非线性发展阶段,公司有望受益于该领域的高速增长。[79][80]