证券代码：300316 证券简称：晶盛机电 浙江晶盛机电股份有限公司投资者关系活动记录表 编号：2023-07 □特定对象调研 □分析师会议 □媒体采访 □业绩说明会 投资者关系活动 □新闻发布会 □路演活动 √现场参观 □电话会议 类别 □其他 参与单位名称及 人员姓名 参见附件:参会投资者清单。 时间 2023 年 7 月 11 日-12 日 地点 杭州 上市公司接待人 员姓名 投资者关系 王浩宇 1、请公司简要介绍新产品 8 英寸碳化硅外延设备性能及其优势 答：公司成功研发出具有国际先进水平的 8 英寸单片式碳化硅 外延生长设备，引领国内碳化硅行业技术升级。目前公司在 8 英寸 衬底基础上，已实现 8 英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发 与调试，外延的厚度均匀性 1.5%以内、掺杂均匀性 4%以内，已达到 行业领先水平,这是公司在第三代半导体设备领域的又一次重要技 术突破。 投资者关系活动 8 英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更小、可利用面积更大，未来通 主要内容介绍 过产量和规模效益的提升，成本有望降低 60%以上。公司的 8 英寸 单片式碳化硅外延生长设备，可为行业提供更为先进的技术支持， 推动碳化硅行 ...