公司碳化硅业务布局和发展 - 公司自2017年开始布局碳化硅产业,聚焦碳化硅衬底片和碳化硅外延设备两大业务[1] - 公司已掌握行业领先的8英寸碳化硅衬底技术和工艺,量产晶片的核心位错达到行业领先水平,并于2023年11月启动了"年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片"项目[1] - 公司于今年推出了6英寸双片式碳化硅外延设备和8英寸碳化硅外延设备,外延的厚度均匀性、掺杂均匀性达到行业领先水平[4] 碳化硅衬底片业务发展 - 公司于2020年建立6-8英寸碳化硅晶体生长及切磨抛产线,于2022年成功研发出8英寸N型碳化硅晶体[2] - 2023年11月,公司正式进入碳化硅衬底片项目的量产阶段,目前已通过多家下游企业验证,并实现批量销售[2] 碳化硅衬底片的优势与竞争力 - 公司6英寸和8英寸量产晶片的核心位错可以稳定实现TSD＜100个/cm²，BPD＜400个/cm²,达到行业领先水平[3] - 公司通过自主开发的设备、热场和工艺技术,成功解决了8英寸碳化硅晶体生长过程中的关键难点问题[3] 公司未来发展目标 - 2023年度公司希望实现整体营业收入同比增长60%以上[4] - 公司将利用自身的技术和资源优势,加快碳化硅衬底片的关键核心技术攻关和产业化,保障我国碳化硅产业在关键核心技术上的自主可控[3]