一、引领量/检测设备进口替代，收入规模持续快速增长 - 公司是本土量/检测设备龙头，成功供货中芯国际、长江存储、福建晋华等主流半导体客户，引领进口替代同时，收入规模实现高速增长[2][3] - 2018年营收仅为2985万元，2023年达8.91亿元，期间CAGR高达97%，实现高速增长[25] - 2022年无图形晶圆缺陷检测设备和图形晶圆缺陷检测设备分别实现收入2.55亿元、1.30亿元，2018-2022年CAGR分别达到142%和123%[25] 二、前道设备弹性最大环节之一，迎国产替代最佳机遇 - 量/检测设备在半导体设备中价值量占比较高，仅次于三大核心设备（薄膜沉积、光刻和刻蚀），排名第四，占比达到11%[34] - 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、掩膜版缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备价值量占比分别达到19.5%、14.1%、10.3%和8.4%[34] - 2023年中国大陆半导体量/检测设备市场规模约为282亿元，2024和2025年有望分别达到292和344亿元[35] 三、国产替代加速&产品线完善丰富，公司具备持续扩张潜力 - 公司六大类成熟产品（无图形晶圆缺陷检测、晶圆图形缺陷检测、三维形貌量测、介质&金属薄膜膜厚量测、套刻精度量测）已在国内头部客户量产应用[45][47][48][49][50] - 公司积极布局明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备等新产品线，目前进展顺利[55][56][57] - 公司将人工智能和大数据技术应用到半导体质量控制数据上，形成一系列提升高端半导体制造良率的软件产品[59][60][61] 四、盈利预测与投资评级 - 考虑到公司新品放量节奏，我们维持2024年营业收入为13.41亿元，同比+51%，调整2025-2026年营业收入分别为19.97和28.70亿元，同比+49%和+44%[66] - 维持2024年归母净利润为2.20亿元，同比+57%，调整2025-2026年归母净利润分别为3.60和5.20亿元，同比+64%和+44%[66] - 维持2024年EPS为0.69元，调整2025-2026年EPS分别为1.13、1.63元，2024/5/20股价49.44元对应PS为12、8和6倍，对应PE分别为72、44、30倍[66] - 考虑到量/检测设备广阔的市场空间和较低的国产化率，公司成长弹性较大，维持"增持"评级[66] 五、风险提示 - 晶圆厂资本开支不及预期[68] - 设备研发验证进度不及预期[69] - 海外制裁力度加大的风险[70] - 设备客户验证进展不及预期[71]