中科飞测：大陆量检测设备龙头，国产替代先锋 公司概况 - 中科飞测于2014年在中科院微电子所孵化下成立,现阶段产品包括纳米图形晶圆检测设备、无图晶圆检测设备、关键尺寸量测设备、三维形貌量测设备等共计九大系列产品,以及三大系列软件,能够覆盖28nm以下制程节点 [1][2] - 主要客户包括SMIC、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路前道制程和先进封装知名客户 [2] - 2023年公司实现营业收入8.91亿元,同比增长75%;实现归母净利润1.40亿元,同比增长1,072%,经营规模快速增长 [6] 行业发展 - 半导体量检测设备是保证芯片生产高成品率的关键,贯穿于集成电路生产全过程,属于核心设备之一 [5] - 2023年全球市场规模约128亿美元,仅次于刻蚀、薄膜和光刻,占全球半导体设备市场规模约12% [7] - 2023年全球半导体量检测设备市场仍以海外公司主导,行业CR5超过86%,其中KLA占据约56%的份额,市场集中度较高 [7][30] - 国内厂商起步较晚,现阶段国产化率不足10%,远落后于刻蚀、薄膜、清洗等领域 [7][59] 产品特点 - 检测设备包括图形晶圆检测设备(明场和暗场)、无图晶圆检测设备、掩模版检测设备等,用于检测晶圆表面缺陷 [29][39][44] - 量测设备包括关键尺寸量测设备、套刻精度量测设备、薄膜量测设备、三维形貌量测设备等,用于对晶圆电路结构尺寸和材料特性进行量化描述 [51][55] - 检测设备以光学检测为主,电子束和X光在特定场景下具备优势 [35][36] 业务进展 - 公司现有产品与国际竞品整体性能相当,实现在下游客户产线上无差别替代 [70][72][73][74] - 无图晶圆检测设备、图形晶圆检测设备、三维形貌量测设备等产品已实现批量销售,覆盖国内主流集成电路客户 [74][75][77] - 明场纳米图形晶圆设备、暗场纳米图形晶圆设备以及关键尺寸量测系统研发完毕且具备供货能力,产品矩阵持续完善 [78] 研发实力 - 公司掌握光学检测技术、自动化控制软件和大数据检测算法,技术水平位居前沿 [81][83] - 公司积极布局28nm以下先进制程技术,包括深紫外激光暗场照明、高精度干涉量测等 [83] - 公司专利数量快速突破,2023年共获得482项专利,其中发明专利111项 [84][86] - 公司研发人员数量达465人,占比44.4%,其中硕士148人,博士40人 [85] 盈利预测 - 公司的成长一方面来源于国产替代的持续推进,另一方面来自于先进制程对量检测设备需求的提升 [87] - 预计2024-2026年实现归母净利润1.46亿元、2.68亿元、4.51亿元,对应PE分别为160x、87x、52x [88] 风险提示 - 下游晶圆厂扩产节奏存在不确定性 - 研发节奏和客户验证进度存在不确定性 - 盈利预测假设不成立或不及预期的风险 [90]