报告公司投资评级 - 中科飞测首次覆盖,给予"优于大市"评级 [1] 报告的核心观点 公司概况 - 中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司,专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,以及用于提升高端半导体制造良率、产品性能的智能软件 [8] - 公司拥有九大系列检测设备和三大系列量测设备,覆盖集成电路制造全流程,其中六大系列检测设备和三大系列量测设备已在国内头部客户批量量产应用 [5] - 公司客户群体广泛覆盖逻辑、存储、功率半导体、MEMS等前道制程企业,碳化硅、氮化镓、砷化镓等化合物半导体企业,先进封装企业,以及半导体材料和制程设备企业 [8] 检测设备业务 - 公司在无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测设备上保持国内领先,明/暗场设备完成研发正在客户端产线进行工艺开发与验证 [10][11] - 检测设备业务是公司主要增长动力,预计2024E-2026E收入分别为9.14、12.94、19.10亿元,收入增速为40%、41%、48%,毛利率分别为53.6%、54.1%、54.8% [11] 量测设备业务 - 公司量测设备覆盖三维形貌、介质/金属膜厚、套刻精度、光学关键尺寸量等,广泛应用于国内集成电路前道及先进封装客户 [12][13] - 量测设备业务快速发展,预计2024E-2026E收入分别为3.68、5.43、7.91亿元,收入增速为66%、48%、46%,毛利率分别为41.0%、42.8%、44.2% [14] 盈利预测与估值 - 预计公司2024E-2026E营收分别为13.03/18.67/27.51亿元,归母净利润为1.09/2.76/4.67亿元,对应EPS为0.34/0.86/1.46元 [15] - 给予公司2024年15.0X-16.0X PS,合理市值为195.39-208.42亿元,对应合理价值区间为61.06-65.13元/股 [19]