报告投资评级 - 报告维持"增持"评级 [18] 报告核心观点 1. Q2 业绩短期承压，看好专用设备业务陆续放量 [7][8][9] 2. 业务结构调整使毛利率上升，专用设备业务研发投入高增 [10][11][12] 3. 合同负债&存货同比有所下降，专用设备业务取得头部客户重复订单 [14][15][16] 4. 离子注入设备快速放量，"1+N"平台化发展打开成长空间 [17] 盈利预测 - 维持2024-2026年归母净利润分别为2.1/2.7/3.3亿元的预测 [18] 风险提示 - 晶圆厂扩产节奏不及预期，订单获取及交付不及预期等 [19]