报告公司投资评级 公司首次覆盖,给予"买入"评级。[133] 报告的核心观点 1. 半导体检测量测设备龙头,业务规模持续提升 [23][24][26] - 量测检测技术水平国内领先,下游客户广泛 [23][24] - 核心团队出身中科院,研发费用逐年增长 [29][30][31][35] - 业务规模持续提升,毛利率不断增厚 [37][38][39][41][42][46] 2. 量测检测设备市场广阔,国产化进程方兴未艾 [58][59][61][73][76][77] - 量测检测设备种类多样,对芯片良品率至关重要 [50][51][52] - 量测检测设备市场广阔,市场规模仅次于薄膜沉积设备、刻蚀机和光刻机 [58][59] - 全球竞争格局"一超多强",各家产品各具优势 [67][69][70] - 国产化进程方兴未艾 [73][76][77] 3. 量测检测产品矩阵不断完善,新品放量在即 [93][94][101][110][114][117][122] - 缺陷检测设备:无图形产品线成熟,图形检测不断突破 [93][94][99][103] - 量测设备:广泛布局各类设备,量测业务多点开花 [110][114][117][122] 根据相关目录分别进行总结 1. 半导体检测量测设备龙头,业务规模持续提升 中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司,自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。公司核心团队出身中科院,研发费用逐年增长,业务规模持续提升,毛利率不断增厚。[23][24][26][29][30][31][35][37][38][39][41][42][46] 2. 量测检测设备市场广阔,国产化进程方兴未艾 量测检测设备是保证芯片生产良品率的关键,种类多样,市场规模仅次于薄膜沉积设备、刻蚀机和光刻机。全球市场呈现"一超多强"格局,各家厂商产品各具优势。国内量测检测设备国产化率较低,但近年来国产厂商市占率不断提升,国产化进程方兴未艾。[50][51][52][58][59][61][67][69][70][73][76][77] 3. 量测检测产品矩阵不断完善,新品放量在即 公司在无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备等缺陷检测设备领域技术成熟,产品线不断完善。同时在三维形貌量测、膜厚量测、套刻精度量测等量测设备领域也有广泛布局,多点开花,新品放量在即。[93][94][99][101][103][110][114][117][122]