《科创板日报》10月23日讯（记者 吴旭光）10月22日晚间，芯源微发布三季度业绩公告称，今年前三 季度，该公司营收约11.05亿元，同比减少8.44%；实现净利润约1.08亿元，同比减少51.12%；实现扣非 净利润约0.40亿元，同比减少77.97%。 其中，今年第三季度，芯源微实现营业收入4.11亿元，同比下降19.55%；归属于上市公司股东的净利润 3150万元，同比下降62.74%。 对于业绩变化，芯源微表示原因包括该公司短交验周期订单与长交验周期订单分布不均匀，导致分季度 收入存在一定波动；加大前道Track、前道化学清洗等研发投入；该公司员工人数增长、股份支付分摊 等，导致管理费用、销售费用同比大幅增加。 芯源微主营业务涉及半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括涂胶机、显影机、喷胶机等。根据 该公司最近一期财报披露的主营业务收入构成为：光刻工序涂胶显影设备为62.09%，单片式湿法设备 为34.95%，其他(补充)为2.19%，其它设备为0.77%。 对于该公司新一代超高产能涂胶显影机FTEX的产业化进展，芯源微表示，目前超高产能FTEX机台在调 度设计和单元测试等研发进展顺利，其将快速推进 ...