Axcelis Technologies, Inc.产品发货情况 - Axcelis Technologies, Inc.最近向日本的功率器件芯片制造商发货了Purion EXE SiC高能量注入机和Purion H200 SiC中能量注入机[1] - 这些解决方案将用于各种领域的应用，包括汽车、工业和能源，用于生产150mm和200mm的碳化硅功率器件[2] - Axcelis是半导体制造中离子注入设备的领先生产商，Purion系列产品的强劲客户需求，尤其是在碳化硅功率市场上，推动了公司的营收增长[3]