报告公司投资评级 - 股票投资评级：买入|维持[1] 报告的核心观点 - 中微公司是刻蚀设备领军企业，ICP开启放量，迈向工艺全覆盖。2020 - 2023年刻蚀设备营收年均增长大于50%，24H1刻蚀设备收入为26.98亿元，同比 +56.68%，收入占比78.26%。同时，MOCVD设备从蓝绿光LED市场出发，拓展碳化硅和氮化钾基功率器件市场。24H1 MOCVD设备实现收入1.52亿元，同比 -49.04%。此外，薄膜设备启动放量，24H1 LPCVD新增订单1.68亿元，新产品开始启动放量[12][13][14] - 目前在研项目涵盖六类设备，20多个新设备开发，加码研发助力三维发展。24H1公司研发投入9.70亿元，较上年同期的4.60亿元增加约5.10亿元，同比大幅增长110.84%[18] - 中国大陆未来四年将保持每年300 +亿美元晶圆厂设备投资，国产替代加速推进。从半导体设备细分产品的国产化率来看，国产化率最高的为去胶设备，已达90%以上；热处理、刻蚀设备、清洗设备国产化率已达到20%左右；CMP、PVD设备国产化率已达到10%左右；量检测设备、涂胶显影设备正逐步实现从0到1的突破[19] 财务 - 营收年均增速>35%，其中2020 - 2023年等离子体刻蚀设备营收年均增长大于50%，MOCVD设备受终端市场波动影响，收入有所下降。2024年上半年度公司实现营收34.48亿元，同比 +36.46%，其中刻蚀设备/MOCVD设备分别实现营收26.98/1.52亿元，同比 +56.68%/-49.04%，新产品LPCVD设备实现首台销售，收入0.28亿元[35] - 盈利能力持续提升，2023年归母净利润17.9亿元（其中出售部分拓荆股权税后净收益4.06亿元），较2022年同比 +52.7%；2024年上半年归母净利润5.2亿元，同比 -48.48%，扣非净利润4.83亿元，同比只减少6.9%，主要由于公司显著加大研发力度[38] - 综合毛利率稳健提升，2016 - 2019年综合毛利率波动主要系产品结构变化，2024H1公司的毛利率为41.32%，主要系公司根据会计准则2024年新规定将本期产生的预计产品质量保证损失9,477.58万元计入营业成本[42] - 持续保持高研发，2024H1，公司研究开发支出共计9.70亿元，政府补助抵减研发费用1,841.38万元，研究开发支出净额为9.52亿，其中计入研发费用5.68亿元，开发支出资本化3.84亿元，研发费用率为16.5%[51] - 人均年创收超过350万元，达到世界一流水平[54] 产品 - 产品覆盖：三维发展；现覆盖约33%集成电路设备市场，包括等离子体刻蚀设备、薄膜设备以及检测设备[62] - 订单：24H1新增订单47亿元，同比 +40%。其中刻蚀设备新增订单39.4亿元，同比增速约50.7%；LPCVD上半年新增订单1.68亿元，新产品开始启动放量。公司2024年上半年新增订单中，来自存储客户的占比较高，先进制程（包括先进逻辑及存储）占比超过70%[65] - 产值：24年前三季度产值94亿元，同比 +287%。根据客户订单需求，公司2024年前三季度（1 - 9月）共生产专用设备1,160腔，同比增长约310%，对应产值约94.19亿元，同比增长约287%[70] CCP刻蚀设备 - 应用覆盖度完善，已有的CCP刻蚀产品已经覆盖28纳米以上逻辑器件制造的绝大部分以及存储器件制造工艺中的绝大部分应用。同时公司积极布局超低温刻蚀技术，在超低温静电吸盘和新型刻蚀气体研究上投入大量资源，积极储备更高深宽比结构刻蚀的前卫技术[75] - 24H1交付超过700个反应台，双反应台中Primo D - RIE、Primo AD - RIE、Primo AD - RIE - e新增付运量保持高速增长，2024年上半年付运量超过2023年全年付运量。单反应台CCP刻蚀设备Primo HDRIE，Primo HD - RIEe和Primo UD - RIE付运势头强劲，2024年上半年付运量较2023年全年增加约3倍[76] - 金属掩膜一体化大马士革刻蚀工艺验证顺利，可调节电极间距的双反应台CCP刻蚀机Primo SD - RIE在首家先进逻辑客户端针对金属掩膜一体化大马士革刻蚀工艺的验证进入良率测试阶段，已经进入第二家客户开展现场验证，并与多家客户达成评估意向，目前实验室开发进展顺利[77] ICP刻蚀设备 - 应用覆盖完善，产品部门持续为推出下一代ICP刻蚀设备做技术储备，以满足新一代的逻辑、DRAM和3D NAND存储等芯片制造对ICP刻蚀的需求[83] - 开启快速放量，24H1报告期间内，公司持续推进各种Nanova UE、LUX和VE HP在先进逻辑芯片、先进DRAM和3D NAND的ICP验证刻蚀工艺的验证[86] MOCVD设备 - 多应用领域持续拓展，用于蓝光照明的PRISMO A7®、用于深紫外LED的PRISMO HiT3®、用于Mini - LED显示的PRISMO UniMax®等产品持续服务客户。截止24H1，公司累计MOCVD产品出货量超过500腔，持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位[90] 薄膜设备 - 正在开发18种以上LPCVD及相关产品，钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，均已通过关键存储客户端现场验证并收到重复量产订单[94]